Tấm nhựa PFA bảo vệ chống ăn mòn cho bồn của nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn

Ngành công nghiệp bán dẫn nổi tiếng với yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của nước và hóa chất. Ngoài ra, những hóa chất này thường rất gây ăn mòn. Đối tác lâu dài của AGRU là công ty Korea Industry Co.Ltd. có kinh nghiệm đáng kể trong lĩnh vực này và chịu trách nhiệm về một số ứng dụng thú vị với tấm PFA có vải thủy tinh phía lưng.

Khí Nitơ Trifluoride (NF3) thường được sử dụng để làm sạch các thiết bị trong ngành công nghiệp bán dẫn, sản xuất màn hình hiển thị và sản xuất pin mặt trời màng mỏng. Nó bị plasma phân hủy tại chỗ và tạo thành các nguyên tử flo-rine là chất làm sạch tích cực. Có nhiều cách khác nhau để sản xuất NF3.

Tấm nhựa PFA GGS dùng lót cho bể điện phân

Để sản xuất khí NF3, bể điện phân được sử dụng rộng rãi. Để cung cấp khả năng bảo vệ chống ăn mòn đầy đủ và tuổi thọ lâu dài cho các bể phân tích, các tấm nhựa PFA có mặt lưng bằng vải thủy tinh của AGRU đã được áp dụng vào năm 2017 làm lớp lót bên trong của các bể điện phân như vậy.

Các tấm nhựa PFA GGS dùng lót cho bể chứa Amoni Bifluoride

Amoni Bifluoride (ABF) là một nguồn để tạo ra NF3. Bằng cách đốt nóng ABF lên đến 150°C, khí NF3 được tạo ra. ABF và NF3 rất dễ ăn mòn, đặc biệt là ở nhiệt độ cao. Để bảo vệ chống ăn mòn đầy đủ, các tấm nhựa PFA GGS dày 2,3 mm của AGRU đã được lắp đặt làm lớp lót bên trong của bể được sử dụng để gia nhiệt ABF ở 150°C.

Nhựa PFA có khả năng kháng hóa chất vượt trội ở nhiệt độ lên đến 260° C. Các dự án nêu trên cho thấy việc ứng dụng thành công các tấm nhựa PFA có mặt lưng vải thủy tinh vào các ứng dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.

Hình ảnh: Bể lót nhựa PFA GGS để gia nhiệt ABF cho việc sản xuất khí NF3 (nguồn/source: agru.at)